无锡联发易创获得多方向晶圆搬送组织专利进步晶圆搬送的灵活性

来源：bb新体育官网    发布时间：2025-02-01 04:29:51

  金融界2024年11月19日音讯，国家知识产权局信息数据显现，无锡联发易创科技有限公司获得一项名为“一种多方向晶圆搬送组织”的专利，授权公告号 CN 222015369 U，请求日期为 2023年12月。

  专利摘要显现，本实用新型触及晶圆制作设备技术领域，尤其是一种多方向晶圆搬送组织，包含纵向位移组件、横向驱动组件、转向组件、微调组件和夹持组件；所述横向驱动组件安装在纵向位移组件的输出端；转向组件包含旋转气缸；旋转气缸经过微调组件设于横向驱动组件的下侧以承受横向驱动组件的驱动；所述夹持组件设于旋转气缸的输出端，经过本实用新型能轻松完成进步晶圆搬送的灵活性，改进晶圆加工环境。

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